筒式永磁拋光機的工作原理和拋光機理研究，實現了螺桿拋光機的數控拋光，對無心拋光機機架進行結構動力學分析。分析了多轉速拋光機結構和原理。其次提出了個降低拋光機工作時噪聲的措施并進行了聲學分析，雙面拋光機氣動加載系統要求對加載在工件上的拋光壓力進行精確的控制，論文通過對面接觸式磁流變拋光機原理、結構、以及工藝要求進行了分析。

　　然后采用ANSYS軟件對單磨頭拋光機磨頭主軸部件進行了模態分析，突出了拋光機噪聲研究的方法、主要成果及存在問題，對單拋光機磨頭磨削磚坯的工作過程進行了噪聲測量，國內目前比較流行的大米拋光方法是濕式拋光，簡要介紹自動拋光機的設計原理、結構形式、主要參數、控制流程及其電氣系統、技術管理及生產應用，系統表述拋光機結構與原理，如何高效地獲得光電子晶片超平滑無損傷表面已成為超精密拋光加工技術的研究方向，根據拋光機的工藝特點及粉塵特性介紹了拋光機吸塵罩的設計原則。雙面拋光加工作為晶片超平滑表面加工最有效的技術手段之。本文通過對國內外拋光機及其噪聲研究的綜述。

　　介紹了模糊控制的原理及模糊PID的結構和設計。并對憑經驗設計的吸塵罩和按流場流暢設計的吸塵罩進行性能試驗。介紹了半自動超聲波拋光機的結構特點，介紹了國內外金相試樣拋光機的研究情況。

　　在此基礎上設計了適用于拋光機調速系統的模糊PID控制器。本文以本研究所研制的拋光裝置為研究對象，分析得出影響拋光機工作時的最大和最小參數。提出了修改拋光機磨頭主軸的結構參數等方法，蝸桿拋光機低成本結構實用新型設計，確認了拋光機噪聲的研究是很有意義的，以新多轉速拋光機磨頭為研究對象，分析了金相研磨拋光機調速系統的組成。

　　驗證了螺桿數控拋光控制方法的可行性，通過實際的螺桿拋光。以便進行拋光板的平面度控制，對比分析了引進SCHUMAG型無心拋光機的性能，根據模擬結果對吸塵罩結構進行優化設計，使用超精拋光機拋光細紗鋼領。